大幅减少萤石用量！台积电与HF供给商用磷肥废料消费电子级 ...

据了解，为确保半导体制造工艺中的关键化学品氢氟酸（HF）的稳定和可持续供给，台积电与HF供给商协作，用磷肥废料替代萤石，在不影响原有工艺质量的状况下胜利消费HF。

截至2023年2月，台积电有两家晶圆厂已应用这种环保氢氟酸，减少了萤石的运用量，二氧化碳排放量减少了12吨，其他台积电晶圆厂往常也在试消费中。

台积电估量在一切晶圆厂引入这种环保氢氟酸后，可减少12万吨以上的二氧化碳排放量，相当于58个台北大安森林公园一年的二氧化碳吸附才干。

电子级氢氟酸是半导体制造过程中湿法蚀刻工艺中的关键化学品，通常以萤石原料。但由于电子级氢氟酸消费艰难且精炼工艺复杂，在消费过程中难以减少碳排放。

为了促进可持续展开，台积电自2021年以来不时与供给商协作，评价氢氟酸替代原资料的可行性。为使质量契合半导体工艺规范，台积电不只在来料阶段提早指导供给商提供质量保障证书（CoA），更辅佐供给商开发独立的消费线中止测试。经过重复调整，台积电对工艺中止优化，确保后续消费质量处于良好状态。

台积电与供给商协作，应用磷肥废料消费氢氟酸

台积电估量2024年底第二条独立消费线建成后，萤石消费量将进一步减少，总碳减排量超越40万吨。除了进步原资料的质量，台积电也不时寻求改善可持续应用的机遇。QR事业部继续与各晶圆厂协作，展开电子级硫酸和电子级异丙醇、氢氟酸气体的内部回收应用。他们还评价了从废料中回收氟气的状况，并指导供给商开发相关技术，以完成可持续资源再生的目的。

关于电子级氢氟酸

电子级氢氟酸主要应用于半导体制造过程的清洗和刻蚀等工序，它的纯度和洁净度对集成电路的良品率、电性能及牢靠性都有着十分重要的影响。

电子级氢氟酸可被分为EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等级别，其中UP-SSS级别（相当于SEMI G5质量规范，金属杂质请求≤10ppt）的氢氟酸纯度最高，是12寸晶圆及更高规格的电子半导体产品制造环节必须用到的关键资料。

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据不完整统计，我国电子级氢氟酸消费企业约十几家，产品级别集中在UP-S及以下，能够抵达半导体所用G4级的企业仅三四家，其中已投产的主要是多氟多（G5）、湖北兴力电子（G5）、中巨芯（G5）、滨化股份（G4）。

多氟多目前具有电子级氢氟酸产能5万吨/年，其中G5级别为1万吨/年，目前在建3万吨/年产能（UPSSS），计划2023年建成投产。

滨化股份的电子级氢氟酸项目于2018年7月开端试消费，产品抵达G4等级请求。依据2021年年报，滨化股份电子级氢氟酸产能为6000吨/年，产能应用率约48.85%。

湖北兴力电子是兴发集团成员企业，引进台湾侨力公司电子级氢氟酸等技术，在园区树立3万吨/年电子级氢氟酸项目，该项目一期于2021年上半年投产，产能为1.5万吨/年，产品能够抵达G5级别，曾经过国内外部分高端市场客户的测试，完成批量供给。

中巨芯是巨化股份旗下公司，其3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置于2022年顺利投料试车，产品抵达G5级别。

来源：台积电、氟化工