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目前世界及我国的电子化学品产品通常执行SEMI国际规范，其关键技术指标包含单项金属离子，单项阴离子，颗粒数等，另外依据不同产品特性会相应增加其它一些技术指标。本文由江苏氟林流体科技有限公司FLOW小编整理电子化学品性能请求及消费技术（仅做参考）

电子化学品的质量规范的演化

为了能够规范世界超净高纯试剂的规范，SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备和资料协会）于1975年成立了SEMI化学试剂规范化委员会，特地制定、规范超净高纯试剂的国际统一规范—SEMI规范。

1978年，德国的伊默克公司也制定了MOS规范。两种规范对超净高纯化学品中金属杂质和（尘埃）微粒的请求各有偏重，分别适用于不同级别IC的制造请求。

国际上公认的电子化学品的规范大致可分为四类：一类是以SEMI为基础的美国试剂规范；一类是以德国E.Merck规范为主的欧洲试剂规范；一类是以日本关东化学（Kanto）公司、和光纯药工业（Wako）公司的湿电子化学品为代表的日本试剂规范；另一类则是以REA公司为代表的俄罗斯试剂规范。ULSI在全球的快速展开使得这些规范的指标有逐步接近的趋向，但SEMI规范更早取得世界范围内的普遍认可。

电子化学品SEMI规范

进入21世纪，国际SEMI规范化组织又依据电子化学品在世界范围内的实践展开状况对原有的分类体系中止了归并，按种类中止分类，每个种类归并为一个指导性的规范，其中包含多个用于不同工艺技术的等级。表2-1列出了IC制造的不同线宽对湿电子化学品SEMI国际规范等级的请求。

表2-1 电子化学品SEMI国际规范等级

SEMI等级

IC线宽

（μm）

金属杂质

10-9

控制粒径

（μm）

颗粒

（个/Ml）

C1（Grade1）

> 1.2

≤1000（1ppm）

≤1.0

≤25

C7（Grade2）

0.8～1.2

≤10（10ppb）

≤0.5

≤25

C8（Grade3）

0.2～0.6

≤1.0（1ppb）

≤0.5

≤5

C12（Grade4）

0.09～0.2

≤0.1（0.1ppb）

≤0.2

从表2-1中能够看出，对应集成电路不同技术水平，所需求电子化学品的规范越高，纯度和洁净度的请求也就越高。假如给电子化学品分级别或层次的话，那么用于≥1.2μm属于低档产品（需采用SEMI C1等级的湿电子化学品），0.8～1.2μm属于中低档产品（需采用SEMI C7等级的电子化学品），0.2～0.6μm属于中高档产品（需采用SEMI C8等级的电子化学品）。0.09～0.2μm和<0.09μm则属于高档产品（需采用SEMI C12等级的电子化学品），其中≥1.2μm和0.8～1.2μm的硅片主要用于制造分立器件；0.2～0.6μm和0.09～0.2μm的硅片主要用于大范围集成电路和超大范围集成电路制造中。

能够看出，电子化学品制备的关键在于控制并抵达其所请求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量抵达请求，需从多个方面同时中止保障，包含试剂的提纯、包装、供给系统及剖析措施等。目前，国际上普遍运用的提纯工艺有十余种，它们适用于不同成分、不同请求的超净高纯试剂的消费，例如，蒸馏、精馏、连续精馏、盐熔精馏、共沸精馏、亚沸腾蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、升华、化学处置、气体吸收等。超净高纯试剂在运输过程中极易受污染，所以超净高纯试剂的包装及供给方式是电子化学品运用的重要一环。特别是颗粒控制的相关技术，它贯串于超净高纯试剂消费、运输的一直，包含环境控制、工艺控制、废品包装控制等各个环节。

目前，国际上制备SEMI-C1到SEMI-C12级电子化学品的技术都曾经趋于成熟。随着集成电路制造请求的进步，对工艺中所需的湿电子化学品纯度的请求也不时进步。从技术趋向上看，满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今后展开方向之一。

2.1.3 国内电子化学品规范

国内的电子化学品层次比较低，有的企业具有自己的企业规范。20世纪90年代中后期，国内当时消费、研制湿电子化学品最大的机构——北京化学试剂所曾提出了BV系列规范。此规范当时致使现今仍对国内湿电子化学品规范有着不小的影响。BV系列规范按BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、和BV-Ⅲ等来划分，细致见表2-2。

表2-2 国内半导体用湿电子化学品BV系列规范的种类分等级的规格

品 级

尘埃粒径

尘埃粒子数

金属杂质含量

适用于半导体IC

低尘埃

5～10μm

＞2700个/100ml

—

≥5C

MOS级

≥5μm

≤2700个/100ml

≤1ppm

≥3μm

BV-Ⅰ级

≥2μm

≤300个/100ml

1～n×10ppb

＞2μm

BV-Ⅱ级

≥2μm

≤200个/100ml

1～n×10ppb

≥1.2μm

BV-Ⅲ级

≥0.5μm

≤25个/1ml

≤10ppb

0.8～1.2μm

BV-Ⅳ级

≥0.5μm

≤5个/1ml

≤1ppb

0.2～0.6μm

BV-Ⅴ级

≥0.2μm

TBD

≤0.1ppb

0.09～0.2μm

我国还有部分企业采用的电子化学试剂依照纯度划分的三个等级：UP-S级、UP级、EL级三个等级。

（1）UP-S级

UP-S级适用0.35~0.8微米集成电路加工工艺，金属杂质含量小于1ppb，经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子，在100级净化环境中灌装抵达SEMI C8规范。 （2）UP级

UP级适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺，金属杂质含量小于10ppb，经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子，在100级净化环境中灌装，抵达SEMI C7规范。 （3）EL级

EL级金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子，抵达SEMI C1、C2规范，合适中小范围集成电路及电子元件加工工艺。

依照国标试剂（该类试剂为我国国度规范所规则，适用于检验、审定、检测）的分级为（请求从高到低排列）： （1）工作基准试剂（国标无简写标记，用汉语注明，绿色标签）：作为基准物质，标定规范溶液。 （2）优级纯（GR，绿色标签）：主成分含量很高、纯度很高，适用于精确剖析和研讨工作，有的可作为基准物质。 （3）剖析纯（AR，红色标签）：主成分含量很高、纯度较高，干扰杂质很低，适用于工业剖析及化学实验。这个是普通实验室用的最多的等级。 （4）化学纯（CP，蓝色标签）：主成分含量高、纯度较高，存在干扰杂质，适用于化学实验和合成制备。 （5）实验试剂（LR，黄色标签）：主成分含量高，纯度较差，杂质含量不做选择，只适用于普通化学实验和合成制备。 其他依据不同用处的请求，又可分为很多特定的等级。此类试剂质量注重的是：在特定措施剖析过程中可能惹起剖析结果倾向，对成分剖析或含量剖析干扰的杂质含量，但对主含量不做很高请求。部分如下： （1）色谱纯（GC、LC）：气相色谱、液相色谱剖析专用。质量指标注重干扰色谱峰的杂质。主成分含量高。 （2）指示剂（ID）：配制指示溶液用。质量指标为变色范围和变色敏感水平。可替代CP，也适用于有机合成用。 （3）生化试剂（BR）：配制生物化学检验试液和生化合成。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂，可用于有机合成。 （4）生物染色剂（BS）：配制微生物标本染色液。质量指标注重生物活性杂质。可替代指示剂，可用于有机合成。 （5）光谱纯（SP）：用于光谱剖析。分别适用于分光光度计规范品、原子吸收光谱规范品、原子发射光谱规范品。 （6）电子纯（MOS）：适用于电子产品消费中，电性杂质含量极低。 （7）当量试剂（3N、4N、5N）：主成分含量分别为99.9%、99.99%、99.999%以上。 （8）电泳试剂：质量指标注重电性杂质含量控制。 在液晶显现面板、太阳电池片加工范畴有些是选用电子级，即电子纯（EL）的电子化学品。